北京俄華通儀表技術有限公司

創新產品組|三等獎

研究現狀

目前國內低溫介質壓力測量多數采用毛細引壓管升溫和充油法蘭導壓以及機械方式等為主，在測量過程中測得壓力值與實際壓力值存在較大誤差。

創新理念

鈦-硅藍寶石壓力傳感器HPL低溫系列，突破了壓力傳感器不能直接對低溫介質測量的屏障，可直接對低溫-200度的介質進行測量，且測量精度高，可應用于深低溫設備中用于液化天然氣、液氧、液氮、液氫等介質的測量。

創新描述

鈦/硅-藍寶石壓力傳感器為應變壓阻結構，在彈性體藍寶石上異質外延生長單晶硅薄膜，利用干法腐蝕制作藍寶石杯，然后刻蝕硅膜形成惠斯登力敏電橋。藍寶石+鈦合金在850℃高溫熔焊在一起，形成絕緣性很好的基底墊層。由鈦合金接收（感壓）膜片和鈦合金測量雙膜片構成，藍寶石上異質外延應變敏感電路膜片，被熔焊在鈦合金測量膜片上，當接收（感壓）膜片在被測壓力作用時，將被測壓力傳到測量膜片上，這時測量膜片產生變型，該形變電橋輸出會發生變化，變化的幅度與被測壓力成正比，電橋電路將應變電橋的失衡信號，轉換為電壓信號輸出。

使用時間

產品于2018年4月份設計完成，且經過多次測試改進，年底已實現量產化。2019年5月份開始已在國內多家公司不同行業進行使用。

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